Historique
L’unité de service commun « USCR EPVOM » a été créée en 2003 à la faculté des sciences de Monastir sur la base de deux bâtis de croissance par Epitaxie en Phase Vapeur d’Organométalliques (EPVOM). L’équipe des épitaxieurs de l’unité de recherche sur les Hétéro-Epitaxies et Applications (URHEA) ont réussi l’installation du premier bâti en 1993, suivie de l’installation en 2003 du deuxième bâti à réacteur vertical dédié pour les Nitrures-III et vers la fin de 2018, l’équipe a réussi la montée du troisième bâti à réacteur horizontal dédié pour les Arséniures-III. Ce nouveau bâti, automatisé, plus performant et plus adapté à la croissance des hétéro-structures a remplacé le premier bâti installé en 1993.
Schéma de principe de l’EPVOM et présentation des bâtis
Bâti 2 EPVOM Nitrures-III à réacteur vertical
Bâti 1 EPVOM Arséniures -III à réacteur horizontal
Personnels
Responsable de l’USCR
- M. Noureddine Chaaben
Equipe d’épitaxieurs
Bâti 1 EPVOM Arséniures -III
- M. Hédi Fitouri
- M. Mohamed Mourad Habchi
- M. Imededdine Moussa
Bâti 2 EPVOM Nitrures-III
- M. Noureddine Chaaben
- M. Tarek Boufaden
- M. Chokri Saidi
- Mme. Mouna Bennour
Inscription à la plateforme nationale des équipements scientifiques (PNES)
Les deux bâtis EPVOM sont hébergés par le laboratoire LRHEA et inscrits sur la plateforme nationale des équipements scientifiques (PNES) :
- Bâti 1 EPVOM Arséniures.
- Bâti 2 EPVOM Nitrures.
Contrôle in situ
Chaque bâti est équipé par un montage de Réflectométrie Laser de longueur d’onde 632.8 nm. Le contrôle in situ de la croissance par réflectométrie multilongueurs d’onde est également utilisé.
Le contrôle de croissance s’effectue par la lecture instantanée de la température, et du signal de la réflectivité.
Equipements associés
- Purificateur d’hydrogène à cellule de Palladium portée à la température 400 °C.
- Kit de pompage primaire et secondaire (10-6 bar).
- Un bâti d’eau dé-ionisée.
- Deux hôtes de refoulement d’air.
- Une hôte chimique pour nettoyage de réacteur, des substrats et des échantillons.
- Un compresseur d’air 200 L.
- Une étuve pour séchage des verreries (50-80 °C).
- Un réfrigérateur.
- Un climatiseur.
Maintenance
La maintenance des bâtis et le remplacement des composants sont essentiellement assurés par les chercheurs de LRHEA. Les composants que renferment les bâtis et susceptibles d’être changé sont les suivants :
- Débitmètres (40).
- Contrôleurs de pression (5).
- Coffrets de mesure de débit et de pression (7).
- Dispositif de basse pression (1).
- Vannes pneumatique (100).
- Manuelles (100).
- Electrovannes (40).
- Antiretours (20).
- Bain thermostaté (12).
- Bulleurs (5).
- Mano-détendeurs (7).
- Thermocouples (2).
- Réacteur (2).
- Joins VCR (une centaine).
- Joins toriques (20)
- Filtres H2, N2 et NH3.
- Filtre air comprimé.
- Multimètre (2).
- Générateurs HF (2).
- Alimentation (2).
- Laser (1).
- Détection synchrone (2).
- Détecteur Si(2).
- Amplificateur (2).
- Automate(10).
Maintenance assurée par des sociétés de service :
- Hôtes d’extraction
- Compresseur d’air
- Climatiseurs
- Ventilateurs
- Bains thermostatés
- Onduleurs
- Réfrigérateurs
- Etuve
- Installation électrique
- Circuit d’eau
- Contrôle d’accès…