Laboratoire de Recherches sur les Hétéro-Epitaxies et Applications

Code : LR20ES07

Historique

L’unité de service commun « USCR EPVOM » a été créée en 2003 à la faculté des sciences de Monastir sur la base de deux bâtis de croissance par Epitaxie en Phase Vapeur d’Organométalliques (EPVOM). L’équipe des épitaxieurs de l’unité de recherche sur les Hétéro-Epitaxies et Applications (URHEA) ont réussi l’installation du premier bâti en 1993, suivie de l’installation en 2003 du deuxième bâti à réacteur vertical dédié pour les Nitrures-III et vers la fin de 2018, l’équipe a réussi la montée du troisième bâti à réacteur horizontal dédié pour les Arséniures-III. Ce nouveau bâti, automatisé, plus performant et plus adapté à la croissance des hétéro-structures a remplacé le premier bâti installé en 1993.

Schéma de principe de l’EPVOM et présentation des bâtis

Schéma de principe de l’EPVOM.

Bâti 2 EPVOM Nitrures-III à réacteur vertical

Système d’acheminement des gaz et réacteur vertical.
Générateur HF.
Armoire de commande et de contrôle des débits, de la température, de la pression et de la réflectivité.

Bâti 1 EPVOM Arséniures -III à réacteur horizontal

Système de tubulures, débitmètres et bains thermostatés des OMs.
Réacteur horizontal avec fenêtres optiques pour réflectométrie sous incidence de 30°.
Générateur HF.
Armoire de commande automatisée et fenêtre de commande de la croissance.

Personnels

Responsable de l’USCR

  • M. Noureddine Chaaben

Equipe d’épitaxieurs

Bâti 1 EPVOM Arséniures -III

  • M. Hédi Fitouri
  • M. Mohamed Mourad Habchi
  • M. Imededdine Moussa

Bâti 2 EPVOM Nitrures-III

  • M. Noureddine Chaaben
  • M. Tarek Boufaden
  • M. Chokri Saidi
  • Mme. Mouna Bennour

Inscription à la plateforme nationale des équipements scientifiques (PNES)

Les deux bâtis EPVOM sont hébergés par le laboratoire LRHEA et inscrits sur la plateforme nationale des équipements scientifiques (PNES) :

  • Bâti 1 EPVOM Arséniures.
  • Bâti 2 EPVOM Nitrures.
Les deux bâtis EPVOM inscrits sur PNES.

Contrôle in situ

Chaque bâti est équipé par un montage de Réflectométrie Laser de longueur d’onde 632.8 nm. Le contrôle in situ de la croissance par réflectométrie multilongueurs d’onde est également utilisé.

Montage de la réflectométrie Laser
Montage de la réflectométrie Laser
Schéma du montage de la réflectométrie multi-longueurs d’ondes
Schéma du montage de la réflectométrie multi-longueurs d’ondes

Le contrôle de croissance s’effectue par la lecture instantanée de la température, et du signal de la réflectivité. 

Fenêtre de contrôle de la croissance.

Equipements associés

  • Purificateur d’hydrogène à cellule de Palladium portée à la température 400 °C.
  • Kit de pompage primaire et secondaire (10-6 bar).
  • Un bâti d’eau dé-ionisée.
  • Deux hôtes de refoulement d’air.
  • Une hôte chimique pour nettoyage de réacteur, des substrats et des échantillons.
  • Un compresseur d’air 200 L.
  • Une étuve pour séchage des verreries (50-80 °C).
  • Un réfrigérateur.
  • Un climatiseur.
Purificateur d’hydrogène à cellule de Palladium portée à la température 400 °C.
Kit de pompage primaire et secondaire
Un bâti d’eau dé-ionisée.

Maintenance

La maintenance des bâtis et le remplacement des composants sont essentiellement assurés par les chercheurs de LRHEA. Les composants que renferment les bâtis et susceptibles d’être changé sont les suivants :

  • Débitmètres (40).
  • Contrôleurs de pression (5).
  • Coffrets de mesure de débit et de pression (7).
  • Dispositif de basse pression (1).
  • Vannes pneumatique (100).
  • Manuelles (100).
  • Electrovannes (40).
  • Antiretours (20).
  • Bain thermostaté (12).
  • Bulleurs (5).
  • Mano-détendeurs (7).
  • Thermocouples (2).
  • Réacteur (2).
  • Joins VCR (une centaine).
  • Joins toriques (20)
  • Filtres H2, N2 et NH3.
  • Filtre air comprimé.
  • Multimètre (2).
  • Générateurs HF (2).
  • Alimentation (2).
  • Laser (1).
  • Détection synchrone (2).
  • Détecteur Si(2).
  • Amplificateur (2).
  • Automate(10).

Maintenance assurée par des sociétés de service :

 

  • Hôtes d’extraction
  •  Compresseur d’air
  • Climatiseurs
  • Ventilateurs
  • Bains thermostatés
  • Onduleurs
  • Réfrigérateurs
  • Etuve
  • Installation électrique
  • Circuit d’eau
  • Contrôle d’accès…